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臭氧发生器的工作原理主要基于高压放电技术。
这种设备利用高压电极之间的高电压差，通过干燥和净化的空气或氧气，产生蓝色辉光放电（也称为电晕放电）。在这个过程中，高能离子会撞击氧气分子（O2），使其离解并聚合形成臭氧分子（O3）。除了高压放电技术，臭氧发生器还可以通过其他技术产生，如紫外线照射、电解等。
值得注意的是，臭氧发生器在操作时需要格外小心，因为臭氧本身有毒，且设备内部存在高压。操作时必须遵循安全指南，避免接触高压部分，并确保工作环境中没有易燃物品。
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