取水流量
三级水：1.5L/min 一级水：1.0~1.2L/min
1~2L/min

造水速度
5L/hr-10L/hr-20L/hr



取水水质
三级水：电阻率0.2~0.5MΩ.cm@25℃，完全符合GB6682-2006的三级水规定。
超纯水：电阻率＞18.25MΩ.cm@25℃ 可溶性硅[以（SiO2）计]mg/L<0.01 TOC<10ppb 微生物<1cfu/mL 重金属（mg/L）<0.01 颗粒（<0.22μm/mL）<0.1个 电阻率检测仪：电极常数0.01cm-1，温度灵敏度0.1℃