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电子行业专用超纯水设备
价格:1.00元/套
物流:
品牌:新露源
更新日期:2016-08-03
产品详细说明

工业及商用纯水设备

电子行业专用超纯水设备

 

电子制造应关注超纯水水质,在超大规模IC的超纯水水质中,优先关注的水质指标为:电阻率、微粒、TOC(总有机硅)、硅、碱金属、碱土金属、重金属、溶解氧、在超纯水中,细菌的影响与TOC、微粒基本相同,在IC光刻工序的清洗用水中假如含有不纯物质或微粒,将导致栅氧化膜厚度不均,产品图形发生缺陷,耐压性变差,超纯水中的微量有机物会使产品结晶不良,在IC芯片制造过程中,与硅片接触的水所含离子越多,对产品良率影响就越大。电阻率反映了超纯水中离子的含量,超纯水的电阻率越高,其纯度也就越高。一般来讲,在25℃时,理论纯水的电阻率是18.25MΩ·cm。


 应用领域:半导体材料、光电子产品、高科技精微产品超纯水设备;

水源:市政自来水                               水质要求:a、电阻率:≥18.2MΩ/cm

压力:0.35MPa                                            b、TOC:   <10mg/L                                          

温度:25℃                                               C:Particle:<0.1μm

PH:  6-8                                                d:Particle:<0.2μm

有机物:(TOC)≤0.5 (建议为零)                        重金属:(FeMn)≤0.01mg/L 

                                             

工艺流程;

原水→预处理→保安过滤器→中间水箱→一级高压泵→一级RO反渗透装置→一级RO水箱→二级高压泵→二级RO反渗透装置→二级RO水箱→EDI增压泵→EDI(CEDI)电去离子水系统→氮封水箱→核子级抛光混床→终端精密过滤器→UV紫外线杀菌→终端用水点。

公司基本资料信息

苏州新露源环保科技有限公司

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