系列臭氧发生器工艺流程：

液氧站、氧气瓶经减压阀、减压稳压后进入臭氧发生器，再经气动开关阀后进入臭氧放电室。在臭氧放电室内的中频高压电场内，部分氧气变成臭氧，产品气体为臭氧化气体，经温度、压力、流量监测后，再经气动调节球阀由臭氧出气口排出。每台臭氧放电室出气管路上设有臭氧取气口，并装有取样阀，每个设备的取气管分别通过各自的发生臭氧浓度仪检测臭氧出气浓度。

二、设备的主要部件特点：

1、电极：

（1）电极采用特殊材料，其耐电、机械冲击能力远优于玻璃介质，且免维护。

（2）为保障臭氧系统的安全连续运行，每个放电单元配有独立的保险装置，单个放电单元出现故障不影响其他单元的正常工作。

2、臭氧发生室：

（1）发生室壳体均采用不锈钢经钨级惰性气体保护主熔透形式焊接而成，不生锈、耐腐蚀，并能有效防止冷却液（水）结垢。

（2）运用全自动冷胀管技术，精确控制不锈钢外电极管于管板的胀紧程度。确保胀合紧密，杜绝漏气漏水的危险。

3、高频电源：

（1）专业的数字波形处理电路，运行效率高，谐波低，功率因数ＣＯＳθ0.95。输出电流，电压波形平稳，电流抑制能力强，负载范围波动时，也能安全稳定运行。

（2）具备完善的过载、自动限流、过压、久压、缺相及断电保护功能。

（3）电源采用数字PI控制技术，可实现给定量与反馈量的比较，通过闭环回路有效稳定输出电压，电流频率恒定。

（4）铁氧体磁芯，损耗小，电阻率低，温度系数低，动态导磁率高，提高电感品质因素，

（5）高压变压器的初级、次级线圈选用超导高频线绕制而成，减少了高频电流的集肤效应。

（6）变压器采用高真空环氧树脂罐封技术，固化成型，有效提高了耐击穿性能，杜绝了变压器表面电晕放电。