砂碳过滤系统
加药系统
软化水系统
一、硅材料清洗用超纯水处理设备概述
所谓的硅材料,一般包括单晶硅、多晶硅、太阳能硅片电池以及半导体生产用的硅材料,这些产品中含有微量的污染就会导致器件失效。清洗的杂质主要包括包括有机物和无机物。无论是那种杂质都会导致各种缺陷,因此,对于硅材料的清洗和生产必须使用超纯水。硅材料清洗用超纯水处理设备是一套专门用于硅材料清洗的水处理设备,该设备采用先进的反渗透技术和EDI技术,EDI模块的使用取代了传统超纯水设备混床的使用,制水效果更加明显。
二、超纯水中杂质的污染源
1、水源的影响
由于水是一种溶解能力很强的溶剂,因此天然水中含有各种盐类和化合物,溶有CO2,还有胶体(包括硅胶和腐殖质胶体),天然水中还存在大量的非溶解性质,包括粘土、砂石、细菌、微生物、藻类、浮游生物、热源等。
2、材料的影响
制备超纯水的材料设备的材质都是用金属和塑料制成的,金属在水中会有痕量溶解,造成金属离子污染。一些高分子材料,在合成时常常加入各种添加剂、增塑剂、紫外吸光剂、着色剂,也引入大量的金属、非金属杂质,同时还会带来有机污染。
三、硅材料清洗用超纯水处理设备—LTLD应用技术说明
指采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法,将水中的导电介质几乎完全去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备,用于制取超纯水的机器,超纯水*初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水,这种水中除了水分子(H20)外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,超纯水无硬度,口感较甜,又常称为去离子水,可直接饮用,也可煮沸饮用。超纯水,是一般工艺很难达到的程度,如水的电阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。超纯水设备行业水质标准超纯水水质分为五个行业标准,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质。